曝光機即電子串曝光機，是集電子光學(xué)、機械、真空、電氣、計算機技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)域。專門用于FILM黃光制程而設(shè)計制作的設(shè)備，系統(tǒng)采用進口平行光源、雙工位抽屜進出曝光平臺交替工作進行FILM濕膜、干膜曝光。